紫外光刻机
仪器编号：20060128, 1308379S，1204806S
运行状态：故障频繁
功率：1000 W
能源单价：0.57 元 / 小时
测试单价：100.00 元 / 小时
已测试数：301 次
联系人电话：63606554
本机是制造中、大规模集成电路，传感器，表面波元件，磁泡，微波和CCD等器件的重要光刻设备。光刻极限5 microm
