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单温区滑轨炉CVD-1
单温区滑轨炉CVD-2
显微镜
半导体特性测试系统（手动探针台）
地下探测仪
射频磁控溅射
CVD系统
高温炉
中走丝线切割机床
快速成型机
FASTCAMSA5高速动态分析仪
低温固态核磁测量系统2
