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单温区微型滑轨炉CVD-3
单温区滑轨炉CVD-1
单温区滑轨炉CVD-2
显微镜
半导体特性测试系统（手动探针台）
等离子体表面处理仪
地下探测仪
快速热退火炉
射频磁控溅射
CVD系统
曙光5000A高性能集群
曙光高性能服务器
