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傅里叶红外原位漫反射光谱仪 Nicolet iS10
美国Arridance原子层沉积(ALD)系统
钴60放射源装置
纳米颗粒分析仪
接触角仪
表面张力仪
激光诱导荧光散射系统
电子回旋辐射微波诊断系统
线性磁化等离子体系统
几何量测试仪系统(2013年自研制)
多目标位置测量装置(自研制系统2008年)
自适应光学测试系统