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光束线镜箱(燃烧软X射线表面物理)
软X射线波前分析仪
X射线阵列探测器
自动化冷却循环系统
光路准直自动调节器
X射线发射器
红外光焦平面陈列探测器
热压装置
光刻机
溅射镀膜仪
去胶机
网络分析仪