RF等离子源

仪器编号：1402069S

运行状态：正常

功率：600 W

能源单价：0.34 元 / 小时

测试单价：100.00 元 / 小时

已测试数：199 次

联系人电话：0551-63602085

SVT Associates 公司的RF等离子源能够在真空环境下提供高活性的氮或者氧原子束流，能够原位对各种样品进行表面清洁处理，同时能够提供氮化物或者氧化物薄膜生长过程中所需要的氮/氧原子束流。