磁控溅射仪

仪器编号：YQ090371

运行状态：待修

功率：3000 W

能源单价：1.70 元 / 小时

测试单价：50.00 元 / 小时

已测试数：0 次

联系人电话：18715028289

该磁控溅射仪用于制备金属薄膜或氧化物薄膜。可选溅射常用金属靶材，如：金、银、铂、钯、铜、锡、铝、镁、铁、钴、镍、铬、钛、钼、钨、铱、钽等单质纯金属靶材；还可选配金钯合金靶、铂钯合金靶、碳靶以及ITO（氧化铟锡）靶等特殊靶材。