大尺寸超高精度氧化物分子束外延系统

仪器编号：202608525S

运行状态：正常

功率：12500 W

测试单价：/ 元 / 小时

已测试数：1 次

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联系人邮箱：dwshen@ustc.edu.cn

本系统主要用于大尺寸氧化物功能薄膜及复杂氧化物异质结构的高质量外延生长。系统具备多源共沉积、精确束流调控及自动化生长能力，可实现多组分薄膜的可控制备，并通过优化源炉布局与衬底运动方式，提高大面积薄膜的厚度均匀性、表面平整度及生长一致性。系统集成自动传样机构，可在超高真空环境下实现不同腔室间的样品转移，并结合RHEED、QCM等原位监测手段，实现生长过程的实时监测与精确控制，为高温超导及新型功能氧化物薄膜的制备与研究提供技术支撑。