12英寸半自动探针台

仪器编号：202649444S

运行状态：正常

功率：650 W

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TS3000-SE 搭载 ShielDEnvironment™全屏蔽暗室系统，集成四维精密位移载台与宽温控温模块，可搭配 4200A-SCS 半导体参数分析仪完成晶圆级器件直流 I-V、C-V、脉冲瞬态、1/f 噪声、ESD 可靠性测试；支持 26GHz~110GHz 射频 / 毫米波在片测试，具备 EMI 电磁屏蔽 + 遮光超低噪声测试环境，可实现 - 60℃~300℃高低温原位电学表征；配套自动化控制软件，支持探针精准定位、批量晶圆扫描、器件老化应力测试，适配医学成像像素探测器、微电子芯片、光电传感器件研发标定