准分子激光器

仪器编号：202615074S

运行状态：正常

功率：5000 W

测试单价：/ 元 / 小时

已测试数：0 次

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为脉冲激光沉积设备提供能量来源（激光）。利用激光轰击特种氧化物靶材激发等离子体，在超高真空、指定生长温度下沉积在单晶衬底上，生长出高质量外延氧化物薄膜。