双温区管式炉

仪器编号：1502668S

运行状态：正常

功率：8000 W

测试单价：20.00 元 / 小时

已测试数：0 次

联系人电话：19927453648

联系人邮箱：linhf25@mail.ustc.edu.cn

一、应用领域： RGL(S)系列气氛管式炉设计用于玻璃对金属的封装焊接，半导体材料扩散、氧化工艺；同时也用于太阳能电池行业的氮化硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、多晶硅等多种镀膜（LPCVD）工艺。 二、技术参数： 最高温度：1050℃ 使用温度：RT-1000℃ 控制精度：±1.5℃ 温区个数：3个 加热区长度：750mm 炉管尺寸：Φ70（外径）*2200mm 炉管材料：耐热钢管/石英管 炉管数量：单管 发热元件：进口电阻丝 最大装机功率：8Kw