离子束刻蚀机（IBE）

仪器编号：1408320S

运行状态：正常

功率：10000 W

能源单价：5.65 元 / 小时

测试单价：150.00 元 / 小时

已测试数：93 次

联系人电话：63606470

北京埃德万斯离子束技术研究所生产的离子束刻蚀机，型号LKJ-3B-100。我们采用Ar+离子束刻蚀，因为是物理刻蚀，所以可以刻蚀任何材料。可根据需要调节Ar+离子能量（0-1000eV）和束流来控制刻蚀速率。可以通过旋转样品台调节刻蚀角度，样品台直径15cm，Ar+离子有效束径大于7cm。