无掩膜版紫外光刻机

仪器编号：202650304S

运行状态：偶有故障

功率：290 W

测试单价：220.00 元 / 小时

已测试数：28 次

联系人电话：19305416476

联系人邮箱：jjiang2@ustc.edu.cn

超600μm厚胶光刻精准光刻工艺，均匀曝光、精准显影 10:1 极致深宽比微结构，线条清晰、轮廓规整 100×速度提升，高效曝光、极速成型。