紫外双面光刻纳米压印机

仪器编号：1615646S

运行状态：正常

功率：1000 W

能源单价：0.57 元 / 小时

测试单价：260.00 元 / 小时

已测试数：214 次

联系人电话：0551-6360448

以紫外光源配合复杂的光路系统，实现均匀、高能量和准直的单色光束对光刻胶进行曝光，同时系统配有对准显微镜装置（正面和背面），紫外光刻机是进行大面积快速紫外曝光的常见微纳加工设备。 曝光面积150mm*150mm 分辨率0.8um~1.2um 单面对准精度±0.9um 双面对准精度±3um(片厚0.6um)