457nm全息光刻系统
仪器编号：S00164
运行状态：正常
功率：100 W
能源单价：0.06 元 / 小时
测试单价：100.00 元 / 小时
已测试数：600 次
联系人电话：0551-6360448
采用长春新产业光电技术有限公司MSL-FN457激光器全息光刻高精度光栅, 分辨率达到150nm half pitch
