超高真空磁控溅射系统

仪器编号：S00517

运行状态：正常

功率：10000 W

测试单价：200.00 元 / 小时

已测试数：0 次

联系人电话：18019980124

联系人邮箱：jslew@ustc.edu.cn

由超高真空室和8个溅射靶枪组成，主要用于制备金属及金属氧化物薄膜材料（如Au, Pt, W, Nb, Cu, Co, Mn3Sn, SmFeO3, MgO, Al2O3等）