超高真空磁控溅射系统
仪器编号:202598552S
运行状态:正常
功率:3000 W
测试单价:200.00 元 / 小时
已测试数:0 次
联系人电话:18356703336
联系人邮箱:liqian89@ustc.edu.cn
主要用于制备金属及金属氧化物薄膜材料(导体和绝缘体材料均可)