ALD沉积催化剂合成系统

仪器编号：202595872S

运行状态：正常

功率：11000 W

测试单价：1000.00 元 / 小时

已测试数：0 次

联系人电话：18225852912

联系人邮箱：jiangj1@ustc.edu.cn

该系统实现多尺度粉体样品的表面金属精准沉积与改性，能够处理从毫克到克级科研样品。支持复杂薄膜的可控生长，可以沉积多种金属前驱体及非金属前驱体（包括Rh、Pt、Pd、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、In等）。设备通过自动化温控、流量控制与工艺编程，保证沉积过程的重复性和稳定性。系统支持无人化长周期运行，并可与机器人协作实现跨设备联动。通过选配的原位监测模块，用户可在沉积过程中实时追踪反应气氛及薄膜演变，提升研究效率与工艺优化水平。