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光刻机

仪器编号:202518573S

运行状态:正常

功率:1400 W

测试单价:/ 元 / 小时

已测试数:0 次

联系人电话:15058751513

联系人邮箱:zhangshuchen@ustc.edu.cn

激光直写技术通过激光束直接在材料表面进行高精度加工:1.直接绘图;2.精准套刻;3.阵列光刻;4.主动对焦。