电子束曝光机
仪器编号：202527422S
运行状态：正常
功率：6000 W
测试单价：3500.00 元 / 小时
已测试数：4 次
联系人电话：18956040752
联系人邮箱：ywustc@ustc.edu.cn
通过电子束，把目的图形转移到光刻胶中，完成样品的电子束光刻的加工。
