等离子体刻蚀及敷膜系统

仪器编号：202418861B

运行状态：正常

功率：8000 W

测试单价：200.00 元 / 小时

已测试数：270 次

联系人电话：15856959012

联系人邮箱：wanghuig@ustc.edu.cn

采用等离子体刻蚀及敷膜设备，可获得复合纳米层异质结构的低维纳米材料，实现低功函数大束流密度的理想电子源，突破寿命、稳定性等系列问题，对于场发射电子源在各类科学仪器设备上的使用提供有力支持，推动国产设备快速发展。