原子层沉积机

仪器编号：2020575410

运行状态：正常

功率：2000 W

能源单价：1.13 元 / 小时

测试单价：150.00 元 / 小时

已测试数：90 次

联系人电话：17718150949

原子层沉积是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法，是制备薄膜材料的重要方法之一。它的特点是自限制性，这也决定了原子层沉积技术具有厚度高度可控、优异的均匀性及良好的保形性等众多优点，尤其擅长高深宽比图形填充。用于晶体管栅极电介质层（高k材料），光电元件的涂层，集成电路中的互连种子层，金属氧化等制备。