离子束刻蚀系统
仪器编号：2020660210
运行状态：正常
功率：1000 W
能源单价：0.57 元 / 小时
测试单价：60.00 元 / 小时
已测试数：31 次
联系人电话：0551-63606972
用于在金属，半导体等材料表面刻蚀出微纳结构
