原子层沉积在线监测系统
仪器编号：2020335709
运行状态：正常
功率：5000 W
能源单价：2.83 元 / 小时
测试单价：200.00 元 / 小时
已测试数：0 次
联系人电话：15856901237
在线监测ALD过程的生长速率，以及ALD过程的反应产物，用来理解催化反应机理。
