磁控溅射-电子束蒸发多功能镀膜仪

仪器编号：2017627602, 2017541902

运行状态：正常

功率：1000 W

能源单价：0.57 元 / 小时

测试单价：200.00 元 / 小时

已测试数：129 次

联系人电话：0551-63606478

可以实现直流磁控溅射、交流磁控溅射和电子束蒸发三种镀膜方式。另外提供样品台加热功能，改善薄膜性能。 可以沉积Au、Ag、SiO2等多种金属及氧化物薄膜。