分子束外延系统

仪器编号：1603709S, 1603708S

运行状态：正常

功率：3900 W

能源单价：2.20 元 / 小时

测试单价：200.00 元 / 小时

已测试数：886 次

联系人电话：0551-63607500

该系统主要由真空获得系统、外延生长系统（外延室）、高能电子衍射系统、电器控制系统、计算机控制系统等组成。超高真空不锈钢腔室，氩弧焊接，内外电解抛光；漏率10^-11Torr.L/S,极限真空度<5x10^-7Pa. 配备XYZ+旋转，超高真空思维样品台；XY=10mm, Z=100mm,步进电机驱动360度连续旋转，转速0-30RPM可调。样品台配备挡板。高温束源炉自带水冷构造，配备独立的遮挡板，最高加热温度1300oC，温控精度为正负1度。