高真空电阻蒸发镀膜设备

仪器编号：1602289S

运行状态：正常

功率：3000 W

测试单价：70.00 元 / 小时

已测试数：297 次

联系人电话：0551-63601243

联系人邮箱：wgrui@ustc.edu.cn

快速真空到1E-4Pa量级，配备高精度石英晶振膜厚检测仪，厚度精确0.1nm， 用于热蒸发沉积Al Fe Au Cr 等常见金属，典型沉积速率0.1Å/s-5Å/s, 最大兼容4“的样片。