CVD系统

仪器编号：1502218S，1502219S

运行状态：正常

功率：2600 W

测试单价：30.00 元 / 小时

已测试数：268 次

联系人电话：0551-63601243

联系人邮箱：wgrui@ustc.edu.cn

主要用于硅基体CNT阵列等的热CVD制备。管式炉管径1英寸，四路气体分别为Ar，高纯氢，乙烯，和夹带100ppm水蒸气的Ar。反应温度700-1000摄氏度，升温速率<20度／min